離子滲氮法是由德國人B.Berghaus于1932年發明的。該法在0.1-10Torr的含氮氣氛中，以爐體為陽*，被處理工件為陰*，在陰陽*間加上數百伏的直流電壓，由于輝光放電現象便會產生象霓虹燈一樣的柔光覆蓋在被處理工件的表面。此時，已離子化了的氣體成份被電場加速，撞擊被處理工件表面使其加熱。同時依靠濺射及離子化作用等進行氮化處理。

　　綜上所述，離子氮化是在真空爐體內，通過稀薄氣體放電，形成由離子、電子和中性粒子所構成的局部電離狀態(即等離子體)中進行處理的。

　　離子滲氮開始應用于生產實際，至今已經有四十余年，離子滲氮已經成為離子熱處理技術中成熟、普及、富有生命力的工藝之一。作為一種全新的滲氮方法，現已廣泛應用于汽車、機床、造船、紡織機械、石化機械、儀器、擠壓成型機、齒輪、驅動軸、蝸輪、蝸桿、機床主軸、套筒、凸輪、瓦楞紙軋輥、絲杠、曲軸、閥、減速機的同步環、液壓缸、導電碼線筒、模具、量刃具等許多領域、其應用范圍隨著工藝的不斷開發將日益擴大。